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石英管式微波等离子体发生装置

简要描述:

石英管式微波等离子体发生装置1、微波2.45GHz;0~500W或0~1000W足额功率,连续可调;2、本底真空不劣于10Pa;工作气体分3路控制流(入)量;

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石英管式微波等离子体发生装置
  (一)性能概况
1、微波2.45GHz;0~500W或0~1000W足额功率,连续可调;
2、本底真空不劣于10Pa;工作气体分3路控制流(入)量;
3、Φ50mm或Φ90mm石英管反应室,置于微波系统和真空系统的偶合点上;
4、制冷循环水冷却。
                                (二)典型实验
1、化学气相沉积制备金刚石薄膜、碳纳米材料等;
2、集成电路等的刻蚀;
3、可催化引发常规化学很难实现的反应;
4、高分子、金属、生物材料表面改性。
                                 (三)产品特色
1、微波准零泄漏,确保人身安全;
2、微波足额功率,等离子体活力强劲;
3、样品升降架精巧豪,可加热可冷却;
4、制冷循环水避免长流水费水扰民;
5、循环水机可联机可独立使用;
6、缺水保护报警功能完善可靠;
7、排气口有环保型油雾过滤器;
8、电控系统功能完善灵便醒目;
9、整机造型典雅大气。

 

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